檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "Fuh-Yu Chang".eadvisor (精準) and year="98"
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迴轉機械在工業界與生活中是相當有用且常見的機械機構。最常使用於迴轉機械的檢測方式為RMS(Root Mean Square)與FFT(Fast Fourier Transform)，但這兩種檢測方式…
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熱壓轉印是微奈米轉印技術之一，並可能成為新世代的微奈米結構製造技術。但由於熱壓製程流程包括加熱、加壓與冷卻，造成製程時間過長。熱壓製程還需要突破縮短製程時間才能達到高效能量產的需求。本研究主要以分站…
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本研究提出一電阻式結構應變感測陣列的設計與製造，製造技術採用薄膜製程製作而成，將壓阻高分子複材溶液使用滴定方式塗佈在經過親水處理的聚醯亞胺(Polyimide, PI)基底上，親水處理方式是大氣電漿…
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目前主流半導體製程仍採用實體光罩進行黃光微影，但實體光罩有易污染、成本高以及光罩更換與對準曝光等問題。為解決這些問題，本實驗室開發出特殊的無光罩顯微鏡微影系統，其特點為整合了顯微鏡與投影機這兩個不同…
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飛秒雷射具有超短脈衝以及光能量密度極高的特性，且擁有特殊的光化學材料剝離機制。這些特性使其有別於一般雷射而有加工熱影響區小、加工尺寸精密度高、以及熱應力低所帶來的內部加工優勢。利用這些特點，本研究以…